氣體流量測量和校準(zhǔn)的原理與實踐

氣體流量測量和校準(zhǔn)的原理與實踐 一、氣體流量校準(zhǔn)的基本公式 二、氣體流量校準(zhǔn)的基本原理 進(jìn)行比較法流量測量的重要因素 質(zhì)量流量與體積流量 : 設(shè)備和單位 泄露對測量的影響 建立穩(wěn)定氣流狀態(tài)的重要性 硬件配置注意事項 基標(biāo)準(zhǔn)和二級標(biāo)準(zhǔn) 福祿克流量校準(zhǔn)中

氣體流量測量和校準(zhǔn)的原理與實踐
一、氣體流量校準(zhǔn)的基本公式

二、氣體流量校準(zhǔn)的基本原理
•進(jìn)行比較法流量測量的重要因素
•質(zhì)量流量與體積流量: 設(shè)備和單位
•泄露對測量的影響
•建立穩(wěn)定氣流狀態(tài)的重要性
•硬件配置注意事項
•基標(biāo)準(zhǔn)和二級標(biāo)準(zhǔn)
•福祿克流量校準(zhǔn)中的新內(nèi)容

三、基本假定:

對于順序連接的流量參考設(shè)備和被測設(shè)備, 通過每個部分的流量是相等的。

此假設(shè)至少依賴于三個因素

1.測量的量是質(zhì)量
2.無泄漏
3.排除了瞬時影響(穩(wěn)定狀態(tài)流量)

體積流量和質(zhì)量流量
•體積流量是體積比時間:qv=cc/min
•質(zhì)量流量是質(zhì)量比時間:qm=g/min
•標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量: 質(zhì)量流量單位常被表示為某種標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量單位:
• sccm, slm, sm3/h 是質(zhì)量流量單位.
• cc/min, ccm, or accm 是體積流量單位.
提示:表示為體積流量單位的質(zhì)量流量單位是測量誤差的常見來源.

問題1: 氣體流量測量的根本是基 于質(zhì)量流量還是體積流量？

理解標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量單位(sccm, slm)

在兩種不同壓力和溫度條件下（密度）的1      毫升(cc) 體積

每個體積內(nèi)的質(zhì)量（分子數(shù)量）是不同的. 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)毫升(standard   cubic     centimeter,  scc) 定義標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下（壓力和溫度）每毫升的質(zhì)量

為什么是質(zhì)量流量?
幾乎所有的氣體流量都依據(jù)于質(zhì)量流量，不是體積流量.
質(zhì)量流量對一下應(yīng)用是非常重要的:
• 運輸監(jiān)護(hù)
• 氣體混合
• 化工 / 生物反應(yīng)
• 泄漏率監(jiān)測
• 化學(xué)蒸汽沉積 / 蝕刻...
質(zhì)量流量對體積流量
質(zhì)量流量是守恒的:        qm1 = qm2

在密閉系統(tǒng)中，氣體密度隨溫度和壓力的變化而改變。

必須知道氣體密度才能進(jìn)行準(zhǔn)確、直接的氣體流量比較測量!

問題2: 可否使用質(zhì)量流量標(biāo)準(zhǔn)器 對體積流量儀表進(jìn)行校準(zhǔn)？

質(zhì)量流量對于體積流量

qm   =       qv     • ρ